早在1887年，文獻中就曾提到過用石英砂和焦炭的電護法反應制硅酸產品，第一次世界大戰時，已經有了合成硅酸產品。當時，他們主要是用作防毒面具吸附劑，后來，合成硅酸產品由用作干燥凝膠。但合成硅酸產品并未發展到進行大規模工業生產。

    第一種沉淀法產品是橡膠工業用的一種粒度略為粗大的硅酸鈣，于1939年以“Silene”的商品名出現于美國市場。一種較細的產品在其商品名稱后附加“EF”，（即極細），從1942年起在市場上出售。同年，第一種氣溶膠類產品Santocelc問世。1948年，在美國市場上出售的一種富含硅酸的硅酸鹽，其商品名叫Hi—sil。歐洲在幾年以后才出現。德國也是從制造硅酸鈣和硅酸鋁開始（Calsil，Silteg AS5）。

    第一種純硅酸自1953年起定名為Ultrasil VN3，用VN作類名是為了紀念對發展此類產品有特殊貢獻的H·費爾貝克（Verbeek）和P·瑙羅特(Nauroth)兩人，這類產品，即使是現在也還是使用得最廣泛、最有影響的一種硅酸產品。第一種專門為分散染料部門研制的沉淀法硅酸鋁P820于1962年問世。但是，只有不斷開發出一些新產品、新方法，硅酸產品才能迅速在一些新領域內獲得應用，才能在近半個世紀內一直得以進行大規模工業生產。